半導體晶圓倉伺服監控
通過實時監測、故障預警、數據記錄與分析等功能，有助于提高生產效率、確保晶圓品質和設備安全。
實時了解電機的負載情況，優化電機的使用和維護。
實時了解電機的運行狀態和位置坐標，管控電機數據信息。
實時了解機臺的電力使用情況，優化能源管理和提高能源利用效率。
實時監測晶圓倉內溫濕度等環境參數，確保晶圓存儲環境的安全性。
實時了解設備的工作狀態、運行參數和故障信息，提高設備的穩定性和效率。
