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      半導體晶圓倉伺服監控

      半導體晶圓倉伺服監控
      產品優勢
      • 電機速度監控

        通過實時監測、故障預警、數據記錄與分析等功能,有助于提高生產效率、確保晶圓品質和設備安全。

      • 電機負載率監控

        實時了解電機的負載情況,優化電機的使用和維護。

      • 電機位置監控

        實時了解電機的運行狀態和位置坐標,管控電機數據信息。

      • 機臺功率監控

        實時了解機臺的電力使用情況,優化能源管理和提高能源利用效率。

      • 環境監控

        實時監測晶圓倉內溫濕度等環境參數,確保晶圓存儲環境的安全性。

      • 設備監控

        實時了解設備的工作狀態、運行參數和故障信息,提高設備的穩定性和效率。

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