|
項目 |
參數 |
|
倉儲型號 |
i-Stock Semi Wafer stocker |
|
外型尺寸 |
L4465*W2200*H2500 (可定制) |
|
物料種類 |
wafer |
|
wafer規格 |
4/6/8/12寸 |
|
存儲容量 |
1800片(6寸wafer) |
|
手臂載重 |
1kg |
|
定位精度 |
±0.1mm |
|
存/取時間 |
6-12s/pcs |
|
凈化等級 |
class10；100；1000 |
|
震動 |
≤0.5G |
|
噪音 |
≤75DB |
|
UPS |
斷電后半小時供工控機上傳資訊，操作系統正常關閉 |
|
通訊方式 |
SECS/GEM (E82/E88) |
|
靜電防護 |
防靜電處理材質儲位，表面阻值106-1011Ω |
|
溫度濕度 |
控制范圍: 溫度20-25°C，相對濕度10~45%RH |
|
EFEM |
可對接AMR/OHT |
一物一碼一儲位”實現無人化、準確化、
智能化管理
雙機械手協同作業，更高效率出入庫揀選，
物料自動批量存取
提升物料揀選準確率和準確度，
降低勞動強度與晶圓人為損耗
搭載FFU，符合半導體車間潔凈等級要求
多種出入庫對接模式，
從容應對各場景不同物料的輸送需求
定制智能看板，數據智能可視
