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      i-Stock Semi Wafer stocker

      i-Stock Semi Wafer stocker,突破技術壁壘,打造行業晶圓存儲設備,以單片晶圓為單位進行準確管控,內部搭載潔凈機械手臂,達到半導體行業無塵等級要求。庫內高速傳遞晶圓片,準確取片,庫外可拓展對接AMR上下料,便捷高效,打造智能化、可視化的半導體晶圓存儲設備。
      技術參數

      項目

      參數

      倉儲型號

      i-Stock Semi Wafer stocker

      外型尺寸

      L4465*W2200*H2500 (可定制)

      物料種類

      wafer

      wafer規格

      4/6/8/12寸

      存儲容量

      1800片(6寸wafer)

      手臂載重

      1kg

      定位精度

      ±0.1mm

      /取時間

      6-12s/pcs

      凈化等級

      class10;100;1000

      震動

      ≤0.5G

      噪音

      ≤75DB

      UPS

      斷電后半小時供工控機上傳資訊,操作系統正常關閉

      通訊方式

      SECS/GEM (E82/E88)

      靜電防護

      防靜電處理材質儲位,表面阻值106-1011Ω
      設備外部結構接地,設備電源接地 < 1Ω

      溫度濕度
      管控范圍

      控制范圍: 溫度20-25°C,相對濕度10~45%RH
      支持加充氮氣

      EFEM

      可對接AMR/OHT


      產品優勢
      • 高智能

        一物一碼一儲位”實現無人化、準確化、
        智能化管理

      • 高效率

        雙機械手協同作業,更高效率出入庫揀選,
        物料自動批量存取

      • 高精度

        提升物料揀選準確率和準確度,
        降低勞動強度與晶圓人為損耗

      • 潔凈度

        搭載FFU,符合半導體車間潔凈等級要求

      • 多模式

        多種出入庫對接模式,
        從容應對各場景不同物料的輸送需求

      • 可視化

        定制智能看板,數據智能可視

      推薦產品

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