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項(xiàng)目 |
參數(shù) |
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倉儲型號 |
i-Stock Semi Wafer stocker |
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外型尺寸 |
L4465*W2200*H2500 (可定制) |
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物料種類 |
wafer |
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wafer規(guī)格 |
4/6/8/12寸 |
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存儲容量 |
1800片(6寸wafer) |
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手臂載重 |
1kg |
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定位精度 |
±0.1mm |
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存/取時(shí)間 |
6-12s/pcs |
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凈化等級 |
class10；100；1000 |
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震動 |
≤0.5G |
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噪音 |
≤75DB |
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UPS |
斷電后半小時(shí)供工控機(jī)上傳資訊，操作系統(tǒng)正常關(guān)閉 |
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通訊方式 |
SECS/GEM (E82/E88) |
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靜電防護(hù) |
防靜電處理材質(zhì)儲位，表面阻值106-1011Ω |
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溫度濕度 |
控制范圍: 溫度20-25°C，相對濕度10~45%RH |
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EFEM |
可對接AMR/OHT |
一物一碼一儲位”實(shí)現(xiàn)無人化、準(zhǔn)確化、
智能化管理
雙機(jī)械手協(xié)同作業(yè)，更高效率出入庫揀選，
物料自動批量存取
提升物料揀選準(zhǔn)確率和準(zhǔn)確度，
降低勞動強(qiáng)度與晶圓人為損耗
搭載FFU，符合半導(dǎo)體車間潔凈等級要求
多種出入庫對接模式，
從容應(yīng)對各場景不同物料的輸送需求
定制智能看板，數(shù)據(jù)智能可視
