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      i-Stock Semi Wafer stocker

      i-Stock Semi Wafer stocker,突破技術(shù)壁壘,打造行業(yè)晶圓存儲設(shè)備,以單片晶圓為單位進(jìn)行準(zhǔn)確管控,內(nèi)部搭載潔凈機(jī)械手臂,達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)無塵等級要求。庫內(nèi)高速傳遞晶圓片,準(zhǔn)確取片,庫外可拓展對接AMR上下料,便捷高效,打造智能化、可視化的半導(dǎo)體晶圓存儲設(shè)備。
      技術(shù)參數(shù)

      項(xiàng)目

      參數(shù)

      倉儲型號

      i-Stock Semi Wafer stocker

      外型尺寸

      L4465*W2200*H2500 (可定制)

      物料種類

      wafer

      wafer規(guī)格

      4/6/8/12寸

      存儲容量

      1800片(6寸wafer)

      手臂載重

      1kg

      定位精度

      ±0.1mm

      /取時(shí)間

      6-12s/pcs

      凈化等級

      class10;100;1000

      震動

      ≤0.5G

      噪音

      ≤75DB

      UPS

      斷電后半小時(shí)供工控機(jī)上傳資訊,操作系統(tǒng)正常關(guān)閉

      通訊方式

      SECS/GEM (E82/E88)

      靜電防護(hù)

      防靜電處理材質(zhì)儲位,表面阻值106-1011Ω
      設(shè)備外部結(jié)構(gòu)接地,設(shè)備電源接地 < 1Ω

      溫度濕度
      管控范圍

      控制范圍: 溫度20-25°C,相對濕度10~45%RH
      支持加充氮?dú)?/span>

      EFEM

      可對接AMR/OHT


      產(chǎn)品優(yōu)勢
      • 高智能

        一物一碼一儲位”實(shí)現(xiàn)無人化、準(zhǔn)確化、
        智能化管理

      • 高效率

        雙機(jī)械手協(xié)同作業(yè),更高效率出入庫揀選,
        物料自動批量存取

      • 高精度

        提升物料揀選準(zhǔn)確率和準(zhǔn)確度,
        降低勞動強(qiáng)度與晶圓人為損耗

      • 潔凈度

        搭載FFU,符合半導(dǎo)體車間潔凈等級要求

      • 多模式

        多種出入庫對接模式,
        從容應(yīng)對各場景不同物料的輸送需求

      • 可視化

        定制智能看板,數(shù)據(jù)智能可視

      推薦產(chǎn)品

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