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i-Stock Semi Foup stocker

FOUP（Front Opening Unified Pod）是半導(dǎo)體制造廠商中常用的晶圓存儲(chǔ)載具，并將其從一個(gè)制造工站運(yùn)輸?shù)搅硪粋€(gè)制造工站。半導(dǎo)體foup智能倉儲(chǔ)則是通過高效智能的存儲(chǔ)設(shè)備對(duì)FOUP進(jìn)行存儲(chǔ)管理，通過引入物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算等新一代信息技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)FOUP的溫度、濕度、潔凈度等環(huán)境參數(shù)的準(zhǔn)確控制，同時(shí)提高運(yùn)輸效率和準(zhǔn)確度，減少業(yè)務(wù)流程中的錯(cuò)誤率和損失。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	參數(shù)
倉儲(chǔ)型號(hào)	i-Stock Semi Foup stocker
外型尺寸	L5100W2400H2700(可定制)
物料種類	FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box
wafer規(guī)格	6寸/8寸/12寸
存儲(chǔ)容量	320盒(6寸Wafer Stack Box)
手臂負(fù)載	12-25kg (可定制)
定位精度	0.3-0.5mm
存/取時(shí)間	20~30s/盒
凈化等級(jí)	class10；100；1000
震動(dòng)	≤0.5G
噪音	≤75DB
UPS	斷電后半小時(shí)供工控機(jī)上傳資訊，操作系統(tǒng)正常關(guān)閉
通訊方式	SECS/GEM (E82/E88)
靜電防護(hù)	防靜電處理材質(zhì)儲(chǔ)位，表面阻值10₆-10₁₁Ω 設(shè)備外部結(jié)構(gòu)接地，設(shè)備電源接地 < 1Ω
溫度濕度管控范圍	控制范圍:溫度20-25°C，相對(duì)濕度10~45%RH 支持加充氨氣
EFEM	可對(duì)接AMR/OHT

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高智能

一物一碼一儲(chǔ)位”實(shí)現(xiàn)無人化、
準(zhǔn)確化、智能化管理
高效率

雙機(jī)械手協(xié)同作業(yè)，
更高效率出入庫揀選，物料自動(dòng)批量存取
高精度

提升物料揀選準(zhǔn)確率和準(zhǔn)確度，
降低勞動(dòng)強(qiáng)度與晶圓人為損耗
潔凈度

搭載FFU，符合半導(dǎo)體車間潔凈等級(jí)要求
多模式

多種出入庫對(duì)接模式，
從容應(yīng)對(duì)各場景不同物料的輸送需求
可視化

定制智能看板，數(shù)據(jù)智能可視

i-Stock Semi Foup stocker

高智能

高效率

高精度

潔凈度

多模式

可視化

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