項目

參數

倉儲型號

i-Stock Semi Foup stocker

外型尺寸

L5100*W2400*H2700(可定制)

物料種類

FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box

wafer規格

6寸/8寸/12寸

存儲容量

320盒(6寸Wafer Stack Box)

手臂負載

12-25kg (可定制)

定位精度

0.3-0.5mm

存/取時間

20~30s/盒

凈化等級

class10；100；1000

震動

≤0.5G

噪音

≤75DB

UPS

斷電后半小時供工控機上傳資訊，操作系統正常關閉

通訊方式

SECS/GEM (E82/E88)

靜電防護

防靜電處理材質儲位，表面阻值10₆-10₁₁Ω
設備外部結構接地，設備電源接地 < 1Ω

溫度濕度管控范圍

控制范圍:溫度20-25°C，相對濕度10~45%RH
支持加充氨氣

EFEM

可對接AMR/OHT