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項目 |
參數 |
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倉儲型號 |
i-Stock Semi Foup stocker |
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外型尺寸 |
L5100*W2400*H2700(可定制) |
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物料種類 |
FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box |
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wafer規格 |
6寸/8寸/12寸 |
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存儲容量 |
320盒(6寸Wafer Stack Box) |
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手臂負載 |
12-25kg (可定制) |
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定位精度 |
0.3-0.5mm |
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存/取時間 |
20~30s/盒 |
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凈化等級 |
class10；100；1000 |
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震動 |
≤0.5G |
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噪音 |
≤75DB |
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UPS |
斷電后半小時供工控機上傳資訊，操作系統正常關閉 |
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通訊方式 |
SECS/GEM (E82/E88) |
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靜電防護 |
防靜電處理材質儲位，表面阻值106-1011Ω |
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溫度濕度管控范圍 |
控制范圍:溫度20-25°C，相對濕度10~45%RH |
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EFEM |
可對接AMR/OHT |
一物一碼一儲位”實現無人化、
準確化、智能化管理
雙機械手協同作業，
更高效率出入庫揀選，物料自動批量存取
提升物料揀選準確率和準確度，
降低勞動強度與晶圓人為損耗
搭載FFU，符合半導體車間潔凈等級要求
多種出入庫對接模式，
從容應對各場景不同物料的輸送需求
定制智能看板，數據智能可視
