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      AMHS

      AMHS(Automated Material Handling System)是一種自動化物料處理系統,廣泛應用于半導體制造等領域。AMHS 設備主要用于在生產線上自動搬運、傳送半導體制造過程中所需的各類物料和工件。這些設備通常由輸送機、機械臂、搬運機器人等組成,配備智能控制系統,能夠實現高效、準確的物料傳輸,并且能夠與其他設備實現無縫連接,實現整個生產流程的自動化管理。AMHS 設備的使用可以大大提高生產效率,降低人為錯誤的發生率,同時也提升了生產線的靈活性和穩定性,是現代半導體制造中不可或缺的重要設備之一。
      技術參數

      項目

      參數

      設備型號

      AMHS/OHT

      外型尺寸

      L600*W450*H850mm(不含機械手臂)

      物料種類

      Foup/Cassette/Mask等半導體物料

      充電方式

      軌道滑觸線以及鋰電池定點充電

      機械手精度

      0.5~1mm

      驅動方式

      雙向驅動,無限監控

      行走速度

      0.6~3.5m/s

      通訊方式

      SECS/GEM (E84)

      視覺系統

      RFI獲取軌道位置


      系統控制

      控制硬件系統

      感測系統

      遠端控制及車流控制統




      產品優勢
      • 提高生產效率

        AMHS設備能夠實現自動化的物料搬運和傳送,減少了人工操作時間,提高了生產效率,縮短了生產周期。

      • 降低人為錯誤

        自動化的AMHS系統可以減少人為錯誤的發生率,提高了生產線的穩定性和一致性。

      • 靈活性

        AMHS設備可以根據生產需求進行靈活調整和優化,適應不同工藝流程和生產規模的變化。

      • 提升安全性

        減少了人員接觸危險物料的機會,降低了工作風險,提升了生產線的安全性。

      • 實時監控與管理

        AMHS設備配備智能控制系統,可以實時監控物料流動情況,提供數據支持,幫助管理者進行生產計劃和決策。

      • 節約空間

        AMHS設備可以實現物料的垂直傳送和空間的充分利用,節約了生產場地,提高了生產線的整體效率。

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