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AMHS

AMHS(Automated Material Handling System)是一種自動化物料處理系統(tǒng),廣泛應用于半導體制造等領域。AMHS 設備主要用于在生產線上自動搬運、傳送半導體制造過程中所需的各類物料和工件。這些設備通常由輸送機、機械臂、搬運機器人等組成,配備智能控制系統(tǒng),能夠實現(xiàn)高效、準確的物料傳輸,并且能夠與其他設備實現(xiàn)無縫連接,實現(xiàn)整個生產流程的自動化管理。AMHS 設備的使用可以大大提高生產效率,降低人為錯誤的發(fā)生率,同時也提升了生產線的靈活性和穩(wěn)定性,是現(xiàn)代半導體制造中不可或缺的重要設備之一。
技術參數(shù)

項目

參數(shù)

設備型號

AMHS/OHT

外型尺寸

L600*W450*H850mm(不含機械手臂)

物料種類

Foup/Cassette/Mask等半導體物料

充電方式

軌道滑觸線以及鋰電池定點充電

機械手精度

0.5~1mm

驅動方式

雙向驅動,無限監(jiān)控

行走速度

0.6~3.5m/s

通訊方式

SECS/GEM (E84)

視覺系統(tǒng)

RFI獲取軌道位置


系統(tǒng)控制

控制硬件系統(tǒng)

感測系統(tǒng)

遠端控制及車流控制統(tǒng)




產品優(yōu)勢
  • 提高生產效率

    AMHS設備能夠實現(xiàn)自動化的物料搬運和傳送,減少了人工操作時間,提高了生產效率,縮短了生產周期。

  • 降低人為錯誤

    自動化的AMHS系統(tǒng)可以減少人為錯誤的發(fā)生率,提高了生產線的穩(wěn)定性和一致性。

  • 靈活性

    AMHS設備可以根據(jù)生產需求進行靈活調整和優(yōu)化,適應不同工藝流程和生產規(guī)模的變化。

  • 提升安全性

    減少了人員接觸危險物料的機會,降低了工作風險,提升了生產線的安全性。

  • 實時監(jiān)控與管理

    AMHS設備配備智能控制系統(tǒng),可以實時監(jiān)控物料流動情況,提供數(shù)據(jù)支持,幫助管理者進行生產計劃和決策。

  • 節(jié)約空間

    AMHS設備可以實現(xiàn)物料的垂直傳送和空間的充分利用,節(jié)約了生產場地,提高了生產線的整體效率。

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