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      Cooperative robot

      Cooperative robot是一種應用于半導體制造領域的智能機器人系統,主要用于晶圓盒的存取和搬運任務。這些機器人設備配備齊全的傳感器和視覺系統,能夠準確感知晶圓盒位置,實現準確搬運,并通過與倉庫管理系統的無縫對接,實現晶圓盒存取任務的自動化和信息化管理。Cooperative robot能夠提高生產效率、降低成本、提高安全性,并推動晶圓倉庫管理的智能化和自動化發展。其靈活適應性和智能化管理特點使其成為半導體制造過程中不可或缺的重要設備,為工廠的生產效率和質量提供有力支持。
      技術參數

      項目

      參數

      外型尺寸

      1200mm*寬500mm*高800mm

      導引方式

      激光引導

      設備重量

      450kg (up to 600kg)

      行走方式

      ?型萬向輪, 可進出貨梯

      驅動方式

      視覺系統?動對位載貨頂升

      爬坡角度

      上下斜坡(8度)

      導航精度

      ±10mm

      通訊方式

      ?援E84/WIFI 通訊

      充電方式

      充電樁自動充電

      安全感應范圍

      0-3M可調/緊急制動距離小于20mm

      安全防護

      內建智能視覺系統,聲光報警搭配礙物檢測傳感器與機械防撞機構雙重防護

      產品優勢
      • 提高生產效率

        半導體晶圓倉協作機器人能夠自動執行晶圓存取任務,減少人工操作時間,提高生產效率。

      • 精準搬運

        配備傳感器和視覺系統的半導體晶圓倉協作機器人能夠準確感知晶圓位置,實現準確搬運,減少損壞風險。

      • 智能化管理

        半導體晶圓倉協作機器人可以與倉庫管理系統無縫對接,實現晶圓存取任務的自動化和信息化管理。

      • 靈活適應

        采用控制算法和路徑規劃技術,半導體晶圓倉協作機器人能夠靈活適應不同的生產環境和任務需求。

      • 降低成本

        通過自動化晶圓存取任務,半導體晶圓倉協作機器人可以降低人力成本,提高生產效率,從而降低生產成本。

      • 安全穩定

        半導體晶圓倉協作機器人配備多重安全保護系統,能夠確保在搬運過程中晶圓和設備的安全,提高生產過程的穩定性。

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