項目 |
參數 |
外型尺寸 |
長1200mm*寬500mm*高800mm |
導引方式 |
激光引導 |
設備重量 |
450kg (up to 600kg) |
行走方式 |
?型萬向輪, 可進出貨梯 |
驅動方式 |
視覺系統?動對位載貨頂升 |
爬坡角度 |
上下斜坡(8度) |
導航精度 |
±10mm |
通訊方式 |
?援E84/WIFI 通訊 |
充電方式 |
充電樁自動充電 |
安全感應范圍 |
0-3M可調/緊急制動距離小于20mm |
安全防護 |
內建智能視覺系統,聲光報警搭配礙物檢測傳感器與機械防撞機構雙重防護 |
半導體晶圓倉協作機器人能夠自動執行晶圓存取任務,減少人工操作時間,提高生產效率。
配備傳感器和視覺系統的半導體晶圓倉協作機器人能夠準確感知晶圓位置,實現準確搬運,減少損壞風險。
半導體晶圓倉協作機器人可以與倉庫管理系統無縫對接,實現晶圓存取任務的自動化和信息化管理。
采用控制算法和路徑規劃技術,半導體晶圓倉協作機器人能夠靈活適應不同的生產環境和任務需求。
通過自動化晶圓存取任務,半導體晶圓倉協作機器人可以降低人力成本,提高生產效率,從而降低生產成本。
半導體晶圓倉協作機器人配備多重安全保護系統,能夠確保在搬運過程中晶圓和設備的安全,提高生產過程的穩定性。