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      科普|半導(dǎo)體設(shè)備如何識(shí)別loadport上面有Foup或pod?
      作者: 來源: 日期:2024/12/6 13:29:22 人氣:454





      物理接觸檢測(cè)

      1. 機(jī)械微動(dòng)開關(guān)

      優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低。

      缺點(diǎn):機(jī)械部件容易磨損,可能導(dǎo)致誤判。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適用于需要簡(jiǎn)單可靠解決方案的情況,但不適合需要高精度或長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性的場(chǎng)合。

      2. 壓力傳感器

      工作原理:在loadport的承載面上分布多個(gè)壓力傳感器。當(dāng)Foup放置在上面時(shí),會(huì)對(duì)這些傳感器施加壓力,通過檢測(cè)壓力的變化和分布模式來判斷Foup的存在。

      優(yōu)點(diǎn):相比機(jī)械開關(guān)更耐用,能提供更多關(guān)于Foup狀態(tài)的信息。

      缺點(diǎn):成本較高,需要精確校準(zhǔn)。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適合需要高精度檢測(cè)的應(yīng)用場(chǎng)景。


      光學(xué)檢測(cè)

      1. 光電傳感器

      工作原理:使用光電傳感器發(fā)射光束并接收反射光。Foup的存在會(huì)改變反射光的強(qiáng)度或路徑,從而被傳感器捕捉到。

      優(yōu)點(diǎn):非接觸式檢測(cè),減少機(jī)械磨損。

      缺點(diǎn):可能受環(huán)境光干擾,需要優(yōu)化設(shè)計(jì)以提高可靠性。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適用于對(duì)清潔度要求較高的環(huán)境。

      2. 視覺檢測(cè)系統(tǒng)

      工作原理:通過安裝在loadport附近的攝像頭采集圖像,并利用圖像處理和機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù)分析圖像中的Foup特征。

      優(yōu)點(diǎn):可以識(shí)別Foup的具體類型,提供更豐富的信息。

      缺點(diǎn):復(fù)雜度高,成本相對(duì)較高。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適合需要高度自動(dòng)化和智能化管理的場(chǎng)合。


      電學(xué)特性檢測(cè)

      1. 電容式檢測(cè)

      工作原理:在loadport表面布置電容傳感器,F(xiàn)oup的存在會(huì)改變電容值。

      優(yōu)點(diǎn):無接觸檢測(cè),響應(yīng)速度快。

      缺點(diǎn):受周圍環(huán)境影響較大。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適用于對(duì)響應(yīng)速度有一定要求的場(chǎng)合。

      2. 電感式檢測(cè)

      工作原理:通過檢測(cè)電感的變化來判斷Foup的存在。Foup中含有的金屬成分會(huì)影響電感線圈的磁場(chǎng)。

      優(yōu)點(diǎn):同樣為非接觸式檢測(cè),對(duì)于金屬材質(zhì)的Foup特別有效。

      缺點(diǎn):成本較高。

      應(yīng)用場(chǎng)景:特別適用于需要檢測(cè)金屬材質(zhì)Foup的情況。


      射頻識(shí)別(RFID)

      工作原理:在Foup上安裝RFID標(biāo)簽,loadport處設(shè)有RFID讀取器。當(dāng)Foup放置在loadport上時(shí),讀取器能夠讀取標(biāo)簽上的信息,確認(rèn)Foup的存在。

      優(yōu)點(diǎn):不僅可以檢測(cè)Foup的存在,還可以獲取更多相關(guān)信息,如編號(hào)、類型等。

      缺點(diǎn):成本相對(duì)較高。

      應(yīng)用場(chǎng)景:適合需要對(duì)Foup進(jìn)行詳細(xì)管理和追蹤的場(chǎng)合。


      產(chǎn)品介紹


      i-Stock Semi-Foup Stocker,突破技術(shù)壁壘,打造行業(yè)領(lǐng)先晶圓存儲(chǔ)設(shè)備,內(nèi)部搭載雙規(guī)格機(jī)械臂可以一次存取兩種型號(hào)的晶圓盒,提高半導(dǎo)體晶圓智能倉(cāng)儲(chǔ)的兼容性。庫(kù)內(nèi)庫(kù)外可拓展對(duì)接AMR/OHT上下料,便捷高效,打造智能化、可視化的半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)設(shè)備。


      打通不同工藝流程與軟件信息之間的物質(zhì)流和信息流,實(shí)現(xiàn)晶圓物料在各個(gè)車間、機(jī)臺(tái)的自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)或自動(dòng)上下料,解決人工作業(yè)帶來的效率低下和產(chǎn)品不良率低的問題。賦能半導(dǎo)體晶圓庫(kù)房與存儲(chǔ)流程設(shè)備化、智慧化、無人化,提升作業(yè)效率,降低庫(kù)存,實(shí)現(xiàn)物料的最高價(jià)值,使管理標(biāo)準(zhǔn)化,從而降低企業(yè)運(yùn)作成本為己任。


      設(shè)備參數(shù)




      設(shè)備優(yōu)勢(shì)

      一臂雙用:靈活適配不同尺寸的晶圓盒,實(shí)現(xiàn)多樣化生產(chǎn)需求。

      智能夾取: 結(jié)合視覺識(shí)別和運(yùn)動(dòng)規(guī)劃,確保夾取動(dòng)作的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

      高效生產(chǎn): 提升生產(chǎn)效率,減少人工操作,降低誤差率,實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)管理。

      精準(zhǔn)操作: 通過智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)夾取和處理晶圓,提高生產(chǎn)質(zhì)量。

      節(jié)約成本: 減少人力成本,降低操作誤差,提高生產(chǎn)效率,帶來長(zhǎng)期成本節(jié)約。




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