我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在飛速發(fā)展，對(duì)于空氣潔凈度的控制也日益嚴(yán)格。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于空氣潔凈度有著極高的要求，這是因?yàn)槲⑿〉念w粒和污染物都可能對(duì)半導(dǎo)體器件的性能產(chǎn)生重大影響。今天，本文就來(lái)揭秘半導(dǎo)體行業(yè)空氣潔凈度的等級(jí)劃分和適用場(chǎng)景。

空氣潔凈度

半導(dǎo)體材料的無(wú)塵車(chē)間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)主要分為多個(gè)等級(jí)，從高到低依次為：1級(jí)，10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，10000級(jí)。其中，1級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是最高的，要求非常嚴(yán)格，而10000級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)寬松一些。

等級(jí)定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無(wú)塵室的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿(mǎn)足該等級(jí)的限度。

class10000

指每立方米空氣中直徑大于或等于0.5μm的塵埃粒子不超過(guò)10000顆，大于或等于5μm的塵埃粒子不超過(guò)70顆。

萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

class1000

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)1000顆，大于或等于5μm的塵埃粒子不超過(guò)7顆。

相較于萬(wàn)級(jí)潔凈度，千級(jí)潔凈度對(duì)空氣中的顆粒物控制更為嚴(yán)格。此類(lèi)潔凈度通常應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠(chǎng)的關(guān)鍵生產(chǎn)區(qū)域，如晶圓制造、封裝測(cè)試等。

class100

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)100顆。

此外，對(duì)于微生物的要求也非常嚴(yán)格，要求完全無(wú)微生物存在。可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等。

class10

指每立方米空氣中直徑大于或等于0.1μm的塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)350顆，大于或等于0.3μm之灰塵粒子不超過(guò)30顆，大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過(guò)10顆。這個(gè)級(jí)別的潔凈度通常用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的超凈生產(chǎn)區(qū)域，如芯片制造、納米技術(shù)等。

class1

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)1顆。無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。目前1級(jí)的潔凈室在整個(gè)中國(guó)都非常少見(jiàn)。