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      半導(dǎo)體制造中常用氣體--CDA
      作者: 來(lái)源: 日期:2025/3/20 15:18:06 人氣:308

      1. 什么是CDA ?


      在半導(dǎo)體制造中,CDA通常被稱為Compressed Dry Air或Clean Dry air。由于大氣中含有水分,因此不能直接用于半導(dǎo)體工藝中。而CDA不含水分和油分,CDA在半導(dǎo)體Fab中主要供給氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈(purge),以及Local Scrubber助燃。半導(dǎo)體Fab使用的壓力相對(duì)一般行業(yè)稍高,常見(jiàn)在8.5bar以上。


      2. CDA 的作用


      CDA 在半導(dǎo)體制造中的主要用途包括以下幾個(gè)方面:

      (1)設(shè)備吹掃與清潔

      CDA 被用于清潔半導(dǎo)體制造設(shè)備的表面以及內(nèi)部組件,確保設(shè)備運(yùn)行環(huán)境無(wú)塵、無(wú)濕氣。

      它可以吹走設(shè)備上的微小顆粒,防止這些顆粒污染晶圓或其他關(guān)鍵部件。

      (2)壓力系統(tǒng)控制

      CDA 可作為壓力源,為各種設(shè)備和工具提供穩(wěn)定的氣壓支持,例如真空泵、閥門(mén)等。

      在一些情況下,CDA 也可以作為惰性氣體使用,保護(hù)設(shè)備免受氧化或其他化學(xué)反應(yīng)的影響。

      (3)輸送其他氣體

      CDA 經(jīng)常被用來(lái)輸送其他高純度工藝氣體(如氨氣、氫氣等),通過(guò)吹掃管道來(lái)保持氣體傳輸系統(tǒng)的清潔和干燥。

      (4)冷卻與熱交換

      在某些應(yīng)用中,CDA 可用于設(shè)備的冷卻系統(tǒng),幫助調(diào)節(jié)溫度。

      (5)應(yīng)急保護(hù)

      當(dāng)發(fā)生緊急情況時(shí),CDA 可用于吹掃或稀釋有害氣體,確保人員和設(shè)備的安全。


      3. CDA 的特點(diǎn)


      為了滿足半導(dǎo)體制造的高要求,CDA 必須具備以下特性:

      (1)高潔凈度

      CDA 必須經(jīng)過(guò)過(guò)濾處理,確保其中的顆粒物直徑小于 0.1 微米,并且?guī)缀醪缓魏坞s質(zhì)。

      空氣中的水分含量必須極低,通常需要達(dá)到露點(diǎn) -40°C 或更低。

      (2)干燥性

      濕氣會(huì)對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程造成嚴(yán)重影響,因此 CDA 必須是干燥的,通常需要去除水分。

      (3)穩(wěn)定性

      CDA 應(yīng)具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,不會(huì)與設(shè)備或材料發(fā)生反應(yīng)。

      (4)高壓供應(yīng)

      CDA 通常以較高的壓力供應(yīng)(例如 6-8 bar),以滿足不同設(shè)備的需求。


      4. CDA 的制備與輸送


      CDA 的制備和輸送需要經(jīng)過(guò)以下步驟:

      (1)空氣壓縮

      使用空氣壓縮機(jī)將普通空氣壓縮至所需壓力。

      (2)過(guò)濾與干燥

      壓縮后的空氣需要經(jīng)過(guò)多級(jí)過(guò)濾器,去除灰塵、顆粒和其他雜質(zhì)。

      接下來(lái)通過(guò)冷凍式干燥機(jī)或吸附式干燥機(jī),降低空氣中的水分含量。

      (3)輸送與分配

      凈化后的 CDA 通過(guò)管道輸送到各個(gè)車(chē)間和設(shè)備,通常采用不銹鋼管道以保證潔凈度。



      5. CDA 和其他氣體的區(qū)別


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